準確成像, 無交叉耦合現象

XYZ軸線性度，樣品和探針分別由獨立的柔性制導掃描器控制移動

很低的平面偏移度，全程水平掃描時平面偏移量不超過1納米

垂直掃描器全程伸縮時，線性度優于0.015%

優化的水平掃描器ringing現象, 正向sine-scan算法

準確掃描，真正的非接觸模式

垂直掃描器，帶寬超過9kHz，探針垂直伺服響應速度超過62mm/sec

在非接觸模式下很快的掃描速度

極低的探針磨損，能夠保證長時間的高質量掃描

極低的樣品損傷

準確測量，真正的樣品形貌

采用低噪聲遲滯檢測器測量樣品形貌

極小正反測量偏離量，小于0.15%

采用散熱部件，很大地降低了系統熱漂移和遲滯現象

功能強大的隔音罩，艙體內部主動控溫用戶工作效率

開放式的設計，方便更換探針和樣品

探針預定位裝夾設計，簡單便捷的測量激光調節過程，具有自上至下的直觀觀察系統

“十秒進針”功能，探針可自動高速完成進針操作

24位數字電控箱，三組內置鎖存放大器，具備Q-control和彈性常數校準功能

技術參數

XY掃描器

閉環控制式單模塊柔性XY掃描器

掃描范圍: 50 μm × 50 μm (可選 100 μm × 100 μm)

分辨率: 0.05 nm

定位檢測噪音: < 0.3 nm (帶寬: 1 kHz)

水平線性: < 2nm (over 40 μm scan)

Z掃描器

柔性引導高力度掃描器

掃描范圍: 15 μm (可選 30 μm)

分辨率: 0.015 nm

定位檢測噪音: 0.03 nm (帶寬: 1 kHz)

共振頻率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)

表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)

光學系統

可觀察樣品和探針的直視同軸光學系統

視場: 480 × 360 μm (10× objective lens)

CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）

物鏡

10x (0.21 NA) 超長工作范圍的鏡頭(1 μm分辨率)

20x (0.42 NA) 高分辨率長工作范圍的鏡頭(0.6 μm分辨率)

信號處理

ADC: 18個通道
 4 個高速 ADC 通道 (50 MSPS)
 X,Y和Z掃描器定位傳感器的24-bit ADCs

DAC: 12 信道
 2 個高速 DAC 通道 (50 MSPS)
 X,Y和Z掃描器定位的20-bit DACs

*大數據大小: 4096 x 4096 像素

集成功能

3個通道數字鎖相放大器

熱噪聲法標定彈性系數

數碼Q控制

外部信號介入

20個嵌入式信號輸入/輸出端口

5個TTL輸出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias