Park原子力顯微鏡產品特性

Park XE15具備多個特殊功能，是共享實驗室處理各類樣品、研究員進行多變量實驗、失效分析師研究晶片等的好選擇。

MultiSample?（多重采樣^TM）掃描器帶來便捷樣品測量

多樣品一次性自動成像

特殊設計的多樣品夾頭，*多可承載16個獨立樣品

全自動XY樣品載臺，行程范圍達200 mm x 200 mm。

無軸間耦合提高掃描精度

兩種獨立閉環XY和Z平板式掃描

平板式和線性XY掃描可達100μm x 100μm，且殘余壓彎小

整個掃描范圍內的異面移動小于2nm

強力掃描器達25μm Z掃描范圍

精準的高度測量

Non-Contact?（真正非接觸^TM）模式延長針尖使用壽命、改善樣品保存及精度

其Z掃描頻寬是壓電管基礎系統的10倍

非接觸式可降低針尖磨損、延長使用壽命

成像分辨率高于同類原子力顯微鏡

降低樣品干擾，提高掃描精度

提供較佳用戶體驗

開放式側面接入，提高樣品及針尖更換效率

預對準的針尖安裝和軸上俯視法可簡單直觀地實現激光對準

燕尾鎖封片方便鏡頭拆卸

界面帶自動設置功能，方便用戶使用

多種模式與選項

綜合性測量模式及特性設置

多種可選配件及更新，擴展性能優越

為缺陷分析提供先進電氣測量

產品特點

 100um x 100 um掃描范圍的XY柔‘性導向掃描器

XY掃描器含系統二維彎曲及強力壓電堆疊，可使極小平面外移動形成較大的正交運動，并能快速響應，實現精準的樣品納米級掃描。

 柔性導向強力Z掃描器

在強力壓電堆疊的驅動及彎曲結構的引導下，其硬度允許掃描器高速豎直運動，較傳統原子力顯微鏡掃描器更加高速。*大Z型掃描范圍搭配遠程Z掃描器（選配）可延長12μm至25μm。

 滑動連接的超亮二極管頭

 通過將原子力顯微鏡頭沿楔形軌道滑動，可輕松將其插入或取出。低相干的超發光二極管頭可實現高反射表面的精準成像和力-矩光譜的精準測量。超亮二極管頭的波長幫助減輕干擾問題，因此用戶在可見光譜實驗中也可使用本產品。

 多樣品夾頭

特殊設計的多樣品夾頭，*多可承載16個獨立樣品，由多重采樣掃描器自動按順序掃描。特殊的夾頭設計為接觸樣品針尖預留了邊通道。

選配編碼器的XY自動樣品載臺

自動集成XY載臺可輕松并精準控制樣品的測量位置。XY樣品載臺的行程范圍可配置為150 mm x 150 mm或200 mm x 200 mm。若搭配自動載臺使用編碼器，可提高樣品定位的精度和重復性。編碼XY載臺工作時分辨率為1 μm，重復率為2 μm。編碼Z載臺的分辨率為0.1 μm，重復率為1 μm。

 高分辨率數碼變焦感光元件攝像頭

高分辨率數碼感光元件攝像頭利用直接同軸光學，具備變焦功能，無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質量。

 垂直對齊的自動Z載臺及聚焦載臺

Z載臺和聚焦載臺可將懸臂嚙合到樣品表面上，同時確保用戶視野清晰穩定。聚焦載臺是由軟件控制自動運行的，因此滿足透明樣品及液態元件應用所需精度。

 彎曲基底解耦XY和Z掃描器

Z掃描器與XY掃描器完全解耦。XY掃描器在水平面上移動樣品，同時Z掃描器豎直移動探針。

此配置以極小異面移動，實現了平板式XY掃描。此XY掃描同時還具有高正交性與線性。

 底噪聲

為探測*小樣品的特性，幫助快速運動平面成像，Park Systems設計了業內0.5A以下的*低本底噪聲標準設備。使用“零掃描”探測本地噪聲數據。

 真正非接觸模式延長針尖使用壽命

 XE系列原子力顯微鏡已成功搭配強力Z掃描系統獨有的真正非接觸模式。真正非接觸模式下，使用的是相吸而非相排斥的內部原子力。 

真正非接觸模式因此成功地保持了針尖樣品納米級間距，改善了原子力顯微鏡圖像，保持針尖的銳利，因此有效延長了針尖使用壽命。

 預對準懸臂支撐

預先安裝在探針支撐上，因此不需要嚴格對齊激光束。

 高分辨率的直接同軸光學元件

用戶可直接俯視觀看樣品，操控樣品表面，從而很容易就能找到目標區域。高分辨率數碼攝像頭具備變焦功能，無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質量。

 帶DSP控制芯片的XE控制電子元件

原子力顯微鏡發出的納米級信號將由高性能Park XE電子元件控制并處理。Park XE電子元件為低噪聲設計，配備高速處理單元，可成功實現真正非接觸?模式，是納米級成像及電壓電流精準測量的理想選擇。 

 - 600 MHz、4800 MIPS速度的高性能處理單元

- 低噪聲設計，適合電壓電流精準測量

-通用系統，各SPM技術均可得到應用

- 外部信號接入模塊，存取原子力顯微鏡輸入/輸出信號

- *多16個數據成像

- *大數據尺寸：4096 x 4096像素

- 16位ADC/DAC，速度達500 kHz

- TCP/IP連接，隔離計算機接出電噪