核心參數(shù)：

  樣品臺(tái)移動(dòng)范圍：13mm*13mm

  樣品尺寸：直徑≤100mm, 厚度≤20mm

  定位檢測(cè)噪聲：Z≤0.03(typical) 0.05(maximum)

  產(chǎn)地類別：進(jìn)口儀器

  高性能

在同級(jí)產(chǎn)品中，Park XE7能夠帶來很高的納米級(jí)分辨率的測(cè)量效果。得益于獨(dú)特的原子力顯微鏡架構(gòu)，即獨(dú)立的XY軸和Z軸柔性掃描器，XE7能夠?qū)崿F(xiàn)平滑、正交且線性的掃描測(cè)量，從而精準(zhǔn)成像和測(cè)量樣品的特征。此外，Park的True Non-Contact?模式還能為您帶來新的圖像效果，探針可以在多次掃描后圖像的分辨率仍不會(huì)受影響。

  滿足需求

Park XE7帶有很全的測(cè)量模式。XE7的設(shè)計(jì)，允許您整合其他附件和儀器，從而滿足您特殊的研究需求。

  易于使用和高生產(chǎn)率

Park XE7擁有簡(jiǎn)潔的圖形用戶界面和自動(dòng)化工具，即便是初學(xué)者也可以快速地完成對(duì)樣品的掃描。無論是預(yù)準(zhǔn)直探針、簡(jiǎn)單的樣品和探針更換、輕松的激光準(zhǔn)直、自上而下的同軸視角以及用戶友好型掃描控制和軟件處理，XE7能夠推動(dòng)研究效率的提高。

  延長(zhǎng)使用壽命

XE7在細(xì)節(jié)的設(shè)計(jì)上也相當(dāng)用心，Park XE7中所搭載的True Non-Contact?模式讓用戶無需頻繁更換探針尖.端，并且它配有很多的掃描模式，兼容性優(yōu)良，讓您可隨時(shí)升級(jí)系統(tǒng)功能，從而延長(zhǎng)產(chǎn)品的使用壽命。

技術(shù)參數(shù)

 XY掃描器

 閉環(huán)控制式單模塊柔性XY掃描器。

 掃描范圍: 50 μm × 50 μm (可選  100 μm×100 μm, 10 μm×10 μm )

 Z掃描器

l        柔性引導(dǎo)高力度掃描器

         掃描范圍: 12 μm (可選 25 μm)

樣品臺(tái)

  XY臺(tái)工作范圍: 13 × 13 mm

  Z臺(tái)工作范圍: 29.5 mm

  聚焦臺(tái)工作范圍: 70 mm

  光學(xué)系統(tǒng)

         可觀察樣品和探針的直視同軸光學(xué)系統(tǒng)

         10X 物鏡 (可選20X）

l         視場(chǎng): 480 × 360 μm 

l         CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）

 電路系統(tǒng)

  高性能DSP : 600 MHz with 4800 MIPS

  *大圖像尺寸: 4096 x 4096像素, 16個(gè)數(shù)據(jù)圖像

  信號(hào)輸入：在500kHz取樣時(shí), 16位ADC的20個(gè)通道

  信號(hào)輸出：在500kHz取樣時(shí), 16位ADC的21個(gè)通道

  同步信號(hào)：圖像結(jié)束, 線結(jié)束及像素結(jié)束TTL信號(hào)

  主動(dòng)Q控制(選配)

  懸臂梁彈性常數(shù)校準(zhǔn)(選配)

  CE Compliant

  電源 : 120 W

  信號(hào)處理模塊 (選配)